無氧化烘箱及封裝測試烘烤工藝

  為滿足半導(dǎo)體封裝測試行業(yè)對無氧化烘烤的需求，宏展科技多年來根據(jù)該行業(yè)的使用習(xí)慣、材料特性、工藝流程、烘烤的難點(diǎn)、烘烤出現(xiàn)的問題；進(jìn)口設(shè)備價(jià)格高昂、供貨周期長、售后不完善等，結(jié)合該行業(yè)專家共同推出此系列產(chǎn)品。此系列烘箱具有功能齊全、烘烤效果好、使用方便、易于操作、價(jià)格經(jīng)濟(jì)、貨期短、售后及時(shí)等特點(diǎn)；該系列無氧化烘箱，于2015年推出至今已獲得國內(nèi)外多家半導(dǎo)體企業(yè)的高度認(rèn)可。

  無氧化烘箱適用對象有半導(dǎo)體、光電元件、能原材料、通訊產(chǎn)品、機(jī)電產(chǎn)品等作無氧化干燥、固化、焊接、退火等高溫處理。封裝測試；所有的LeadPKG、BGA、MCM；光刻工藝有機(jī)聚合物膜預(yù)固化、堅(jiān)膜；銀漿固化、模后固化、電鍍退火；基板除潮、晶圓干燥退火等。

無氧化烘箱特點(diǎn):

1、密封性設(shè)計(jì)：內(nèi)材質(zhì)用SS304不銹鋼板，整個(gè)內(nèi)桶用氬弧焊滿焊，防止空氣進(jìn)入烘箱內(nèi)，同時(shí)節(jié)省惰性氣體；

2、外部防塵處理：外材質(zhì)為SPCC鋼板經(jīng)過蘇打水清洗后粉體烤漆處理；

3、節(jié)能：保溫材質(zhì)為高密度纖維棉，保溫效果好；

4、分層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：內(nèi)箱層板高低可調(diào)，可自由取出；

5、移動自由：箱體有活動腳輪，可任意推動和固定位置；

6、過濾器：安裝耐高溫過濾器，獲得潔凈的烘烤環(huán)境，高達(dá)Class100；（選配）

7、內(nèi)循環(huán)風(fēng)設(shè)計(jì)：強(qiáng)制送風(fēng)內(nèi)循環(huán)，確保溫度均勻；

8、氮?dú)忸A(yù)熱結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)；

9、快速降溫系統(tǒng)：配備冷卻系統(tǒng)，加速降溫，可減少等待時(shí)間，提率；（選配）

10、寬泛的溫度范圍選擇；

11、極低的氧含量達(dá)20ppm。

封裝工藝介紹：

一、封裝的作用

芯片封裝主要具備以下四個(gè)方面的作用：固定引腳系統(tǒng)、物理性保護(hù)、環(huán)境性保護(hù)和增強(qiáng)散熱。

1.固定引腳系統(tǒng)

  要讓芯片正常工作，就必須與外部設(shè)備進(jìn)行數(shù)據(jù)交換，而封裝*重要的意義便體現(xiàn)在這里。當(dāng)然，我們不可能將芯片內(nèi)的引腳直接與電路板等連接，因?yàn)檫@部分金屬線相當(dāng)細(xì)，通常情況下小于1.5微米（μm），而且多數(shù)情況下只有1.0微米。但通過封裝以后，將外部引腳用金屬銅與內(nèi)部引腳焊接起來，芯片便可以通過外部引腳間接地與電路板連接以起到數(shù)據(jù)交換的作用。

  外部引腳系統(tǒng)通常使用兩種不同的合金——鐵鎳合金及銅合金，前者可用于高強(qiáng)度以及高穩(wěn)定性的場合，而后者具有導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性較好的優(yōu)勢。具體選用何種引腳系統(tǒng)可根據(jù)實(shí)際情況來定。

2.物理性保護(hù)

  芯片通過封裝以后可以免受微粒等物質(zhì)的污染和外界對它的損害。實(shí)現(xiàn)物理性保護(hù)的主要方法是將芯片固定于一個(gè)特定的芯片安裝區(qū)域，并用適當(dāng)?shù)姆庋b外殼將芯片、芯片連線以及相關(guān)引腳封閉起來，從而達(dá)到保護(hù)的目的。應(yīng)用領(lǐng)域的不同，對于芯片封裝的等級要求也不盡相同，當(dāng)然，消費(fèi)類產(chǎn)品要求*低。

3.環(huán)境性保護(hù)

  封裝的另一個(gè)作用便是對芯片的環(huán)境性保護(hù)，可以讓芯片免受濕氣等其他可能干擾芯片正常功能的氣體對它正常工作產(chǎn)生不佳影響。

4.增強(qiáng)散熱

  所有半導(dǎo)體產(chǎn)品在工作的時(shí)候都會產(chǎn)生熱量，而當(dāng)熱量達(dá)到一定限度的時(shí)候便會影響芯片正常工作。而封裝體的各種材料本身就可以帶走一部分熱量。當(dāng)然，對于大多數(shù)發(fā)熱量大的芯片，除了通過封裝材料進(jìn)行降溫以外，還需要考慮在芯片上額外安裝一個(gè)金屬散熱片或風(fēng)扇以達(dá)到更好的散熱效果。

二、封裝對產(chǎn)品及企業(yè)的競爭力影響

  封裝這一生產(chǎn)環(huán)節(jié)對微電子產(chǎn)品的質(zhì)量和競爭力都有極大的影響。封裝技術(shù)的好壞，直接影響到芯片自身性能的發(fā)揮和與之連接的PCB(PrintCircuilBoard，印刷電路板)的設(shè)計(jì)和制造，因此它是至關(guān)重要的。

  封裝所涉及的面很廣，它需要從材料到工藝、從無機(jī)到聚合物、從大型生產(chǎn)設(shè)備到計(jì)算力學(xué)等，其中烘烤和固化環(huán)節(jié)及工藝其是廣東宏展科技一直以來的研究方向，聘請半導(dǎo)體行業(yè)專家及工程師共同設(shè)計(jì)，目前設(shè)計(jì)出適合封裝工藝要求的烘烤設(shè)備無氧化烘箱、潔凈烘箱、真空烘箱、恒溫恒濕試驗(yàn)箱、高低溫沖擊試驗(yàn)箱、高低溫試驗(yàn)箱、溫度循環(huán)試驗(yàn)箱等一系列環(huán)境試驗(yàn)產(chǎn)品，且已成功服務(wù)國內(nèi)外企業(yè)4500多家。

三、封裝的功能

  封裝主要有四大功能，即功率分配、信號分配、散熱及包裝保護(hù)，它的作用是從集成電路器件到系統(tǒng)之間的連接，包括電學(xué)連接和物理連接。

四、電子封裝類型

1、從使用的包裝材料來分，我們可以將封裝劃分為金屬封裝、陶瓷封裝和塑料封裝；

2、從成型工藝來分，我們又可以將封裝劃分為預(yù)成型封裝(pre-mold)和后成型封裝（post-mold）；

3、從封裝外型來講，則有SIP(singlein-linepackage)、DIP(dualin-linepackage)、PLCC(plastic-leadedchipcarrier)、PQFP(plasticquadflatpack)、SOP(small-outlinepackage)、TSOP(thinsmall-outlinepackage)、PPGA(plasticpingridarray)、PBGA(plasticballgridarray)、CSP(chipscalepackage)等等；

4、按**級連接到第二級連接的方式來分，則可以劃分為PTH(pin-through-hole)和SMT（surface-mount-technology）二大類，即通常所稱的插孔式（或通孔式）和表面貼裝式。

五、半導(dǎo)體封裝用環(huán)氧樹導(dǎo)電膠

  大部分集成電路都要使用芯片粘接用材料，而環(huán)氧樹脂導(dǎo)電膠(簡稱銀膠)是*常見的粘著劑材料。廣泛使用于芯片粘著劑的高分子材料可分為環(huán)氧樹脂(EPOXY)，聚亞醯氨(POL-IMIDE)和硅氧烷聚亞醯氨(SILOX-ANEPOLY．IMIDE)。

1、環(huán)氧樹脂之化學(xué)特性：

  環(huán)氧樹脂芯片粘著劑的基材是以表氯烷(EPICHLOROHY-DRIN)和雙對酚甲烷(BISPHENOLA)聚合反應(yīng)而成的樹脂為基材。環(huán)氧樹脂屬熱固性樹脂，可以在低溫低壓下快速硬化。

  環(huán)氧樹脂與催化劑作用而成鍵結(jié)，或稱熟化。通常環(huán)氧樹脂芯片粘著劑是與氨作用氧環(huán)打開后再形成一新鍵結(jié)。熟化后的芯片粘著劑分子鏈上的分枝長度與數(shù)目增加，分枝*后擴(kuò)展至分子鏈之間與另一段分子鏈將之連接在一起，此時(shí)所有的鏈以三維空間的交連鏈鍵結(jié)，整個(gè)聚合物變?yōu)橐粋€(gè)大分子，而呈現(xiàn)高粘著強(qiáng)度。

2、銀膠的組成要素

  熟化后的芯片粘著劑的物理化學(xué)特性取決于樹脂與催化劑的選擇與組合，是*主要的組成要素。但是芯片粘著劑所需的各種特性并非僅由這2種要素組成；因此，需將其它物質(zhì)加入以達(dá)到所需的特性。所以在完整的方程式中，應(yīng)包含下列要素中的3種或更多種的組合，使其能達(dá)到*佳的性能表現(xiàn)。

(1)樹脂。樹脂的選擇通常會影響制程特性、性能特性和化學(xué)反應(yīng)性。

(2)催化劑。催化劑與樹脂的不同組合會影響化學(xué)反應(yīng)性，稱之為觸媒，引發(fā)聚合反應(yīng)。

(3)填充劑。填充劑的選擇會影響制程特性，比如黏度和流動性；還會影響熱應(yīng)力特性、熱傳導(dǎo)、機(jī)械強(qiáng)度和電傳導(dǎo)性。一般銀膠含銀量為70％～80％，大量的銀粉填充劑可大大降低樹脂的收縮現(xiàn)象。

(4)彈性劑。屬于性質(zhì)改質(zhì)劑。彈性特質(zhì)可用降低鍵結(jié)密度來達(dá)到，通常是使用較高分子量的樹脂得以實(shí)現(xiàn)。但要使彈性特質(zhì)有重大改變，則必須在配方上做結(jié)構(gòu)性調(diào)整，如使用富彈性的樹脂、富彈性的催化劑或彈性調(diào)整劑。

(5)稀釋劑。在樹脂系統(tǒng)中可用來降低黏度的物質(zhì)稱為稀釋劑。稀釋劑可分為反應(yīng)型及非反應(yīng)型。

(6)加速劑。加速劑的添加是為縮短烘烤時(shí)間及烘烤溫度。常用的加速劑有環(huán)烷酸鈷、二乙苯銨及二甲苯銨。

六、引線框架|裸銅框架的烘烤工藝

烘烤引線框架的問題：發(fā)黃 發(fā)紅 發(fā)紫

影響引線框架烘烤變色的因素：

1、無氧化烘箱溫度（溫度高低、分布均勻性、溫度波動度）

2、車間濕度3、升溫速度

4、烘烤時(shí)間

5、降溫速度（影響效率）

6、氮?dú)饧兌龋ㄑ鹾浚?/p>

7、鍍層：厚度、材料

烘烤不佳會影響：引線框架氧化、變色、引線附著、焊接

七、聚酰亞胺薄膜烘烤工藝

聚酰亞胺薄膜用途：光刻膠、提高粘合性、層間絕緣等

八、封裝固化工藝

溫度：175℃±5

保護(hù)氣體：氮?dú)?/p>

九、封裝切筋后老化工藝

溫度：140~150℃

保護(hù)氣體：氮?dú)?，防止氧?/p>

十、銀漿固化工藝

溫度：175℃

保護(hù)氣體：氮?dú)?/p>